Зондовые станции SEMISHARE серии M – это компактные универсальные устройства, оснащенные минимальным набором опций, для проведения различных типов измерений на отдельных кристаллах и пластинах диаметром до 150 мм в лабораторных условиях.
Ключевой особенностью является модульная конструкция, благодаря чему возможно конфигурировать станцию для решения определенных исследовательских задач, а также модернизировать и оснащать ее дополнительным оборудованием и инструментами в будущем по мере необходимости. Станции имеют встроенную пассивную виброизоляционную платформу, что обеспечивает их стабильное положение и высокую точность измерений.
Станции SEMISHARE серии E имеют базовый функционал, позволяющий решать широкий спектр измерительных задач. Основным назначением линейки является выборочная проверка полупроводниковой продукции (устройств и компонентов) на межоперационном и выходном контроле на производстве.
Размещение основных инструментов установок производится на пассивной виброизоляционной платформе, которая обеспечивает устойчивость в процессе работы.
Механизм для вертикального перемещения (подъема/опускания) держателя пластин служит для создания воспроизводимого контакта с тестируемым устройством и быстрого перемещения между кристаллами.
Опционально станции могут оснащаться пневматическим механизмом подъема микроскопа для удобной работы с проб-картами (УКФ), а также микроскопом высокого разрешения с лазерным резчиком.
Зондовые станции SEMISHARE серии H – продвинутые тестовые установки, оптимальные для большинства измерений, выполняемых в условиях производства небольших партий устройств и предназначенные для входного, межоперационного и выходного контроля.
Главным преимуществом данной серии является возможность быстрого перемещения между отдельными кристаллами по всей поверхности пластины благодаря механизму держателя пластин, выполненному на воздушных подшипниках.
Столешница имеет трехступенчатый рычаг, который позволяет создать воспроизводимый контакт с тестируемым устройством, снижая риск случайной поломки игл. Увеличенная площадь столешницы позволяет разместить дополнительные инструменты для высокоточных измерений на пластине, а также измерений в миллиметровом диапазоне длин волн.
Помимо этого, станции серии H также имеют возможность работы с проб-картами (УКФ) и могут комплектоваться микроскопом высокого разрешения с пневматическим подъемом, лазерным резчиком.
Модель зондовой станции |
M4/M6/M6mini |
E4/E6/E8/E12 |
H6/H8/H12 |
|
Держатель пластин (вакуумный фиксатор) |
Материал |
Нержавеющая сталь/никель или медь с золотым напылением |
||
Подъем |
Отсутствует |
Быстрый подъем 5 мм, точная настройка 6 мм |
||
Быстрое перемещение |
Отсутствует |
Наличие |
||
Подъем столешницы (платформы микропозиционера) |
Отсутствует |
Быстрое перемещение: 5 мм |
||
Точная регулировка: 40 мм |
||||
Грубая регулировка: 300 мкм |
||||
Микроскоп |
Стандартный микроскоп с увеличением до 100X, опциональный цифровой видеомикроскоп |
Металлографический микроскоп PSM-1000 / опциональный GX-6 с увеличением до 2000X Вертикальное перемещение микроскопа вверх и вниз с помощью пневматического механизма (сжатый воздух) |
||
Характеристика пробников (зондов) |
Ток утечки |
Коаксиальный кабель: 1 пА/В при 25°C; Триаксиальный кабель с экранированием: 100 фА/В при 25°C; 10 пА@3 кВ при 25°C Условия испытаний: осушенный воздух (точка росы воздуха ниже -40°C) |
||
Тип разъема |
Штекер «банан» / зажим «крокодил» / коаксиальный BNC / триаксиальный |
|||
Области применения |
Измерения на постоянном токе (ВАХ, ВФХ) Тестирование на слабом токе (100 фА) Измерение фликер-шума (уровень шума 1/f) Характеризация устройств WLR, тест на старение Оценка надежности устройств на пластине СВЧ измерения на частотах до 110 ГГц Измерение силовых устройств (высокая мощность, большой ток, высокое напряжение) |
|||
Отсутствует |
Анализ отказов |