Вакуумные высокотемпературные и низкотемпературные зондовые станции SEMISHARE серии CG представляют собой комплексное измерительное решение для проведения широкого спектра испытаний полупроводниковых пластин, применяемых при производстве электронной продукции, предназначенной для применения в суровых условиях, таких как космическая среда, вакуум, сверхнизкие или высокие температуры.
Вакуумные зондовые станции SEMISHARE серии CG – это профессиональные измерительные системы для ВЧ-, СВЧ-измерений, исследования ВАХ и ВФХ, тестирования характеристик I-V, C-V, радиочастотного тестирования, тестирования фотоэлектрических устройств, изучения магнитных и транспортных характеристик, исследования электрофизических параметров материалов, тестирования характеристик устройств и материалов с использованием методов эффекта Холла в условиях сверхвысокого вакуума и высокой или низкой температуры.
Результаты исследований помогают производителям чипов на этапе разработки устройств, предназначенных для применения в оборудовании промышленного класса, летательных и космических аппаратах, лучше понять влияние множества суровых факторов, возникающих, например, в стратосфере или в условиях нахождения на околоземной орбите или в далеком космосе. Среди таких условий: экстремально низкие и высокие температуры, вакуум, космическое излучение (электромагнитное или корпускулярное: фотоны, элементарные частицы с высокими энергиями) и т.д.
Зондовые станции SEMISHARE CG позволяют идеально воссоздавать влияние вышеперечисленных эффектов на полупроводниковые приборы в течение длительного времени и эффективно наблюдать за состоянием электрических характеристик микросхем в суровой среде.
Данные установки нашли широкое применение в таких областях, как производство полупроводников (микроэлектроника и интегральные схемы), микроволновая электроника и наноэлектроника, спинтроника, молекулярная электроника, оптоэлектроника, а также создание сверхпроводников, разработка микроэлектромеханических систем (MEMS), квантовых устройств.
Автоматический контроль подачи хладагента для точного выхода на заданную температуру;
Возможность работы в широком диапазоне температур от 4.2 К до 473 К;
Смотровое окно с защитой от внешней радиации для улучшения равномерности распределения температуры по образцу;
Специальные держатели зондов с теплоотводом обеспечивают точное размещение на образце;
Возможность перемещения зонда без необходимости разгерметизации камеры;
Опциональный источник магнитного поля;
Модульная конструкция станции с возможностью конфигурации под конкретную задачу.
Модель зондовой станции |
CG-O-2 |
CG-O-4 |
CG-C-2 |
|
Держатель пластин (вакуумный фиксатор) |
Размер |
2” (50 мм) |
4” (200 мм) |
2” (50 мм) |
Метод фиксации |
Вакуумная термопаста / подпружиненный зажим |
|||
Степень вакуума |
1*10⁻¹⁰ мм рт.ст. макс. вакуум |
|||
Оптические характеристики |
Перемещение микроскопа |
360° вращение + перемещение на 100 мм |
||
Увеличение |
Стандартный микроскоп с увеличением до 216X с разрешением 4 мкм или металлографический микроскоп с увеличением 20X - 1000X |
|||
Размеры смотрового окна |
2” (50 мм) |
4” (200 мм) |
2” (50 мм) |
|
Характеристики температурного контроля |
Метод охлаждения |
Жидкий азот / жидкий гелий |
Охлаждающий компрессор |
|
Метод управления |
Ручная/автоматическая регулировка потока хладагента |
Автоматическое регулирование в замкнутом контуре |
||
Диапазон |
77K - 473K / 4.2K - 473K |
7.3K - 473K |
||
Разрешение |
0.001K |
|||
Стабильность |
4.2K±0.2K, 77K±0.1K, 373K±0.08K, 473K±0.1K |
|||
Микропоизиционеры |
Количество микропозиционеров |
до 6 различных микропозиционеров |
||
Метод регулировки |
Ручное управление через вакуумный сильфон |
|||
Точность |
2 мкм |
|||
Ток утечки |
1 пА/В при 25°C, 100 фА/В при 25°C |
|||
Разъем |
Триаксиальный / SMA / K / оптоволоконный интерфейс |
|||
Электропитание |
220 В переменного тока 50/60 Гц |
Трехфазное напряжение 380 В |
||
Масса |
около 170 кг |
около 170 кг |
около 350 кг |
|
Габаритные размеры (ДхШхВ) |
850 х 800 х 1350 мм |