Автоматические зондовые станции SEMISHARE A8/A12

Автоматические зондовые станции SEMISHARE A8/A12

Полностью автоматизированные измерительные станции Semishare A8/A12 предназначены для решение широкого спектра измерительных задач в микроэлектронной промышленности.

Автоматические зондовые станции Semishare A8/A12 в основном применяются на производстве для проведения большого количества однотипных измерений при выходном контроле серийной полупроводниковой продукции.

Данные станции оборудованы системой автоматической загрузки/выгрузки из контейнера (кассеты) за счет чего обеспечивается жесткая стыковка с тестером функционального контроля и возможность работы с вертикальными проб-картами.

Технология машинного зрения, возможность жесткой состыковки с тестером функционального контроля и возможность работы в режиме 24/7 позволяют полностью удовлетворить требования крупных компаний, занятых производством микроэлектронных устройств и компонентов и производством кристаллов.

Принцип работы

Электрический сигнал на ИС подается и измеряется с помощью подключаемого тестера. Затем полученные параметры контролируются, оцениваются и сохраняются на стороне программного обеспечения, а информация о результатах оценки передается обратно в струйную систему для маркировки дефектного чипа (интегральной схемы).

С помощью системы программного управления механическая платформа зажимного патрона перемещается к следующему тестируемому чипу (интегральной схеме), а затем манипулятор автоматически загружает и транспортирует пластину к матрице и обратно и по очереди выполняет циклические испытания.

Ключевые особенности

• Работа с пластинами диаметром до 300 мм;

• Жесткая стыковка с тестером функционального контроля;

• Полностью автоматическая система с функцией автозагрузки/выгрузки из кассеты (контейнера);

• Возможность тестирования силовых устройств в диапазоне до 10 кВ / 500 А;

• Поддержка вертикальных проб-карт;

• Жесткая стыковка с тестером функционального контроля;

• Высокая производительность (до 70 мм/с) и возможность работы 24/7.

Основные преимущества

Высокая эффективность измерений в режиме 24/7 обеспечивается благодаря интегрированному модулю предварительной настройки и автоматическому перемещению тестируемых пластин.

Автоматическое и высокоточное позиционирование ланцета обеспечивается благодаря полностью замкнутой системе управления движением микронного уровня с оптической системой позиционирования, использующей новейшие программные алгоритмы обработки изображений.

Высокая совместимость благодаря универсальному манипулятору с собственной конструкцией интегрированного шарнира, который может принимать различные полупроводниковые пластины (ультратонкие/острые/TAIKO (от 50 мкм) и т.д.).

Низкие вибрации, низкий уровень шума и стабильная работа системы благодаря высокой устойчивости, достигаемой за счет малого размера, веса и высокопрочной конструкции мобильной платформы патрона с низким центром тяжести, которая выдерживает испытания большим давлением иглы.

Технические характеристики моделей