Ручные зондовые станции для высоко- и низкотемпературных измерений SEMISHARE С6/C8/C12

Ручные зондовые станции для высоко- и низкотемпературных измерений SEMISHARE С6/C8/C12

Ручные зондовые станции SEMISHARE серии C широко используются в лабораториях для проведения широкого спектра испытаний различной полупроводниковой продукции под воздействием экстремально низких и высоких температур.

Установки имеют компактные размеры, но, несмотря на это, обладают надежной высокоточной механической системой и оптимально подобранным набором оборудования и аксессуаров.

Зондовые станции SEMISHARE серии C располагаются на массивном металлическом каркасе, который также называется станиной или основанием, который обеспечивает необходимую жесткость конструкции и стабильность, снижая возможные вибрации и деформации в процессе работы.

На основание устанавливаются все элементы и механизмы станции. Основными элементами ручных зондовых станций являются: столешница (рабочий стол), позиционеры (манипуляторы), держатели зондов, зонды, держатель пластин, мост или штанга для крепления микроскопа и, собственно, сам микроскоп.

Одной из ключевых особенностей данной линейки зондовых станций является наличие камеры, защищающей испытуемый образец от воздействия внешнего электромагнитного излучения, и системы продувки осушенным воздухом, предотвращающей выпадение инея при работе на отрицательных температурах.

Цифровой микроскоп высокого разрешения, устанавливаемый на станциях, обеспечивает возможность вывода изображения в трех разных увеличениях, что делает процесс подвода игл к месту контактирования еще более простым и удобным.

Механизм перемещения держателя пластин на воздушных подшипниках, столешница с рычагом для точного позиционирования и быстрого контактирования игл делают станцию удобной в ежедневном использовании и уменьшают вероятность ошибки оператора.

Конструктивные особенности

• Мобильная платформа пневматического типа с быстроходным патроном;

• Трехступенчатая регулировка подъемной платформы для воспроизводимого контактирования;

• Электронный микроскоп с высоким разрешением и выводом изображения в трех разных увеличениях для более удобного и быстрого подвода игл (оптический зум: 0.6:1; 2.5:1; 9:1);

• Экранированная камера для исключения влияния внешнего электромагнитного излучения, обеспечивающая наилучший уровень шума и низкий ток утечки;

• Держатель пластин, выдерживающий диапазон температур от -60°C до +300°C;

• Система обдува камеры осушенным сжатым воздухом для исключения выпадения инея во время работы при отрицательных температурах;

• Механизм перемещения держателя пластин на воздушных подшипниках.

Функциональные возможности

• Тестирование полупроводниковых пластин диаметром до 12";

• Возможность проведения низкотемпературных тестов в невакуумной среде;

• Совместимость с металлографическим микроскопом с большим увеличением;

• Тестирование интенсивности света LD/LED/PD/длины волны;

• Тестирование характеристик IV/CV материалов / устройств;

• Проверка характеристик высокочастотных устройств (до 300 ГГц);

• Возможность работы с проб-картами (УКФ).

Области применения

Основным назначением зондовых станций SEMISHARE серии C является лабораторное и производственное тестирование при высоких и низких температурах интегральных микросхем, печатных плат, светодиодов, ЖК-дисплеев, солнечных элементов и полупроводниковой продукции, проведение тестов IC / LD / LED / PD, радиочастотное тестирование. Данные станции также пользуются популярностью в профильных университетах и исследовательских лабораториях для осуществления научной деятельности.

Технические характеристики

Модель зондовой станции		С6	С8	С12
Держатель пластин (вакуумный фиксатор)	Размер	6” (150 мм)	8” (200 мм)	12” (300 мм)
	Перемещение в плоскости XY	205 х 205 мм		305 х 305 мм
	Точность позиционирования	1 мкм
Защита от электромагнитного излучения (ЭМИ)		наличие
Оптическая система		Микроскоп с увеличением 15:1 и выводом изображения в трех разных увеличениях
Температурные характеристики	Диапазон	от -100°C до +300°C
	Точность (разрешение)	0,01°C
	Стабильность поддержания температуры	±0,1°C/час
	Способ нагрева	Низкое напряжение постоянного тока (LVDC)
	Метод охлаждения	Жидкий азот / воздух (компрессор)
Микроскоп	Диапазон перемещения по оси X-Y	2" x 2"
	Диапазон перемещения по оси Z	50,8 мм
	Настройка объектива	наклон микроскопа на 30° вручную с помощью рычага
	Увеличение	от 16X до 100X / от 20X до 4000X
Спецификация объектива	Окуляр	10X
	Объектив	5X, 10X, 20X, 50X
	ПЗС-пиксели	50 Вт (аналоговая) / 200 Вт (цифровая) / 500 Вт (цифровая)
Микропозиционеры	Диапазон перемещения по X-Y-Z	12-12-12 мм / 8-8-8 мм
	Механическое разрешение	10 мкм / 2 мкм / 0,7 мкм / 0,1 мкм
	Ток утечки	Коаксиальный: 1Па/В при 25 °C Триаксиальный: 100 фА/В при 25°C Триаксиальный 10 Па / 3 кВ при 25°C Условия испытания: сухая среда с заземлением (точка росы воздуха ниже -40°C)
	Тип разъема	Штекер «банан» / зажим «крокодил» / коаксиальный / триаксиальный / SMA / K
Электропитание		220 В переменного тока частотой 50-60 Гц
Габаритные размеры (ДxШxВ)		860 x 850 x 700 мм	880 x 860 x 750 мм	1400 x 920 x 920 мм
Вес		150 кг	170 кг	250 кг