Ручные зондовые станции SEMISHARE серий M/E/H

Ручные зондовые станции SEMISHARE серий M/E/H

Зондовые станции SEMISHARE серии M – это компактные универсальные устройства, оснащенные минимальным набором опций, для проведения различных типов измерений на отдельных кристаллах и пластинах диаметром до 150 мм в лабораторных условиях.

Ключевой особенностью является модульная конструкция, благодаря чему возможно конфигурировать станцию для решения определенных исследовательских задач, а также модернизировать и оснащать ее дополнительным оборудованием и инструментами в будущем по мере необходимости. Станции имеют встроенную пассивную виброизоляционную платформу, что обеспечивает их стабильное положение и высокую точность измерений.

Станции SEMISHARE серии E имеют базовый функционал, позволяющий решать широкий спектр измерительных задач. Основным назначением линейки является выборочная проверка полупроводниковой продукции (устройств и компонентов) на межоперационном и выходном контроле на производстве.

Размещение основных инструментов установок производится на пассивной виброизоляционной платформе, которая обеспечивает устойчивость в процессе работы.

Механизм для вертикального перемещения (подъема/опускания) держателя пластин служит для создания воспроизводимого контакта с тестируемым устройством и быстрого перемещения между кристаллами.

Опционально станции могут оснащаться пневматическим механизмом подъема микроскопа для удобной работы с проб-картами (УКФ), а также микроскопом высокого разрешения с лазерным резчиком.

Зондовые станции SEMISHARE серии H – продвинутые тестовые установки, оптимальные для большинства измерений, выполняемых в условиях производства небольших партий устройств и предназначенные для входного, межоперационного и выходного контроля.

Главным преимуществом данной серии является возможность быстрого перемещения между отдельными кристаллами по всей поверхности пластины благодаря механизму держателя пластин, выполненному на воздушных подшипниках.

Столешница имеет трехступенчатый рычаг, который позволяет создать воспроизводимый контакт с тестируемым устройством, снижая риск случайной поломки игл. Увеличенная площадь столешницы позволяет разместить дополнительные инструменты для высокоточных измерений на пластине, а также измерений в миллиметровом диапазоне длин волн.

Помимо этого, станции серии H также имеют возможность работы с проб-картами (УКФ) и могут комплектоваться микроскопом высокого разрешения с пневматическим подъемом, лазерным резчиком. 

Технические характеристики