Высоко- и низкотемпературные вакуумные зондовые станции SEMISHARE серии CG

Высоко- и низкотемпературные вакуумные зондовые станции SEMISHARE серии CG

Вакуумные высокотемпературные и низкотемпературные зондовые станции SEMISHARE серии CG представляют собой комплексное измерительное решение для проведения широкого спектра испытаний полупроводниковых пластин, применяемых при производстве электронной продукции, предназначенной для применения в суровых условиях, таких как космическая среда, вакуум, сверхнизкие или высокие температуры.

Вакуумные зондовые станции SEMISHARE серии CG – это профессиональные измерительные системы для ВЧ-, СВЧ-измерений, исследования ВАХ и ВФХ, тестирования характеристик I-V, C-V, радиочастотного тестирования, тестирования фотоэлектрических устройств, изучения магнитных и транспортных характеристик, исследования электрофизических параметров материалов, тестирования характеристик устройств и материалов с использованием методов эффекта Холла в условиях сверхвысокого вакуума и высокой или низкой температуры.

Результаты исследований помогают производителям чипов на этапе разработки устройств, предназначенных для применения в оборудовании промышленного класса, летательных и космических аппаратах, лучше понять влияние множества суровых факторов, возникающих, например, в стратосфере или в условиях нахождения на околоземной орбите или в далеком космосе. Среди таких условий: экстремально низкие и высокие температуры, вакуум, космическое излучение (электромагнитное или корпускулярное: фотоны, элементарные частицы с высокими энергиями) и т.д.

Зондовые станции SEMISHARE CG позволяют идеально воссоздавать влияние вышеперечисленных эффектов на полупроводниковые приборы в течение длительного времени и эффективно наблюдать за состоянием электрических характеристик микросхем в суровой среде.

Особенности проведения испытаний в вакуумных зондовых станциях SEMISHARE серии CG:

• Особенность испытания свойств полупроводниковых пластин при экстремально низких температурах заключается в том, что водяной пар, содержащийся в воздухе (атмосфере), будет конденсироваться на пластине, что может привести к чрезмерной утечке или сделать невозможным соприкосновение зонда с электродом, и тест завершится неудачей. Для предотвращения этого перед испытанием водяной пар в вакуумной камере необходимо откачать насосом. А для предотвращения повторного образования конденсата насос должен работать в течение всего процесса испытания.
• Эффективность охлаждения может быть значительно увеличена благодаря эффекту вакуумной изоляции.
• Во избежание возникновения процесса окисления во время нагрева пластины до температур свыше 500°C, которое может привести к электрическим сбоям, физической и механической деформации пластины, из вакуумной камеры также с помощью насоса необходимо удалить кислород и обеспечить его работу в течение всего процесса испытания.
• В процессе тестирования пластины происходит значительное изменение температуры в довольно широком диапазоне от низкой до высокой. Явление теплового расширения и сжатия может вызвать относительное смещение между зондом и электродом устройства, что требует своевременного изменения положения иглодержателя. Для этих целей станции могут оснащаться автоматическим иглодержателем.

Сферы применения зондовых станций SEMISHARE серии CG:

Данные установки нашли широкое применение в таких областях, как производство полупроводников (микроэлектроника и интегральные схемы), микроволновая электроника и наноэлектроника, спинтроника, молекулярная электроника, оптоэлектроника, а также создание сверхпроводников, разработка микроэлектромеханических систем (MEMS), квантовых устройств.

Ключевые особенности зондовых станций SEMISHARE серии CG:

• Автоматический контроль подачи хладагента для точного выхода на заданную температуру;

• Возможность работы в широком диапазоне температур от 4.2 К до 473 К;

• Смотровое окно с защитой от внешней радиации для улучшения равномерности распределения температуры по образцу;

• Специальные держатели зондов с теплоотводом обеспечивают точное размещение на образце;

• Возможность перемещения зонда без необходимости разгерметизации камеры;

• Опциональный источник магнитного поля;

• Модульная конструкция станции с возможностью конфигурации под конкретную задачу.

Технические характеристики моделей